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SL-3供气(混气)系统

  • 产品名称:SL-3供气(混气)系统
  • 产品型号:SL-3
  • 品牌:上海升利
  • 产品价格:¥0
  • 浏览次数:2506
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简单介绍
SL-3供气(混气)系统供气(混气)系统本供气(混气)系统可用于多种气体单一/混合连续供气系统,尤其方便多种气体的切换混合使用;气体压力和流量数据在同一平面直观可读,操作方便;每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全可靠! 本系统广泛用于CVD供气系统,气体保护烧结,气体保护退火等。

SL-3供气(混气)系统

的详细介绍
SL-3供气(混气)系统
主要特点:
1.本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便三种气体切换使用,而不会造成大气进入加热炉管。
2.气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。
3.每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有保证。
4.显示流量准确,可有效地控制气体消耗量。
5.所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。

技术参数:
气路通道:3(可根据客户需求设计1-8通道)
气路流量控制器采用质量流量计控制:
标准量程(N2) :200,500 SCCM
        度 :±1.5%
线          性 :±0.5~1.5%
重 复 精 度 :±0.2%
响 应 时 间 :气特性 1~4 See
                  电特性 10 See
工作压差范围    :0.1~0.5 MPa
*  大 压 力 :3 MPa
          口 :Φ6,1/4”
          示 :4位数字显示
工作环境温度:5~45
高纯气体不锈钢管:Φ6外X Φ4内
压 力 真 空 表 :-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
        阀 :Φ6
备注:可选配质量流量计

苏公网安备 32058302001659号