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(半导体)快速退火炉[产品打印页面]

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: (半导体)快速退火炉
产品型号: TUIHUO0-812
产品展商: 上海升利
产品文档: 无相关文档

简单介绍

(半导体)快速退火炉


(半导体)快速退火炉  的详细介绍

内胆尺寸:宽530*430*220mm


外形尺寸(约): 920  *900  *740   mm


温度范围:室温+450可调(根据加热板实际热承受能力而定)
加热方式:采用铸铝加热板


温度波动度:≤±1


温度均匀度:测温探头的精度为±0.5℃,控温点在加热板上部对角两点及测温的侧面一点, (恒温空载状态下)(加热板的温度均匀性±1℃)


升温速率:≤8℃/min .空载时升温速度:室温到200℃在8分钟内到达;


外壳温度:温升不超过环境+25℃,门周边除外。


电源:三相五线制,380V,50HZ


总功率:20KW,使用功率16KW


外壳材料:外层A32.0冷板

内胆材料:采用5mm厚SUS304不锈钢板制作

保温材料:采用1400型纤维毯保温,具有不可燃烧,隔热性强等特点,厚度为60mm

烟气隔离罩:炉体左右后三个面用亚克力板围起来,炉体正面做对开式门,四周用玻璃胶密封,开炉时可让烟气有效排除。
密封材料:密封条采用直径10mm发泡硅胶条制作,可耐温不变形,门与内胆采用单层密封形式,加强密封效果
门:配两个圆形观察窗,炉门密封圈不易老化和烧坏,真空门装有电脑控制气缸开启和关闭(闭合传感器,确定门关闭)可90度运动

观察窗:采用圆形观察窗口,观察窗直径80,生产过程一目了然。

控制系统

加热部分:采用导热板加热,带水冷急速冷却


冷却部分:炉口方管及加热板


电箱:电箱与烘箱分离安装

抽真空:箱体抽气口加装电磁阀阀(带过滤器)直径100*180mm


氮气部分:氮气,需加电磁阀控制,气管管径直径8mm,设备侧面设有氮气接口和甲酸接口,并用一个三通的常闭电磁阀,其后再接一个电磁阀,以控制进入腔体的气体量,电磁阀使用方向按客户要求进出气方向安装。


温控部分:采用微电脑智能型温控器



控制器:采用台湾琦胜HM-782S触摸屏,精度高,稳定性好,设有手动,自动,工业设定等功能,配日本三菱PLC控制器(FX2N-48MR,与台湾琦胜(型号PLL-2010-002A)可编程控制器通讯控制,能控制显示3个温区并能阶梯式程序升温,预留3个控温探头

流程:合门锁---抽真空---充氮气---自动加热---温度曲线---高温抽真空---真空泵停止---冷却降温---停止充氮---电子门锁---取料完成(供方负责加工,需方负责编程设计)

温度传感器:搁板两个感温探头预留在加热板顶部对角处,加热板侧面配一个超温的感温探头,K型探头PID温度控制器需使用3个台湾琦胜温控器,2个程序表,1个显示表

自动恒温:温控器可根据用户设定的温度值,采用PID自动计算输出功率的大小,越接近温度设定值时,输出功率越小,以达到恒温控制的目的,并可节能省电

真空度:采用数显ZDZ-52T/E 电阻真空计,传感器采用成都睿宝品牌,10分钟内抽至20pa20分钟内漏率80pa


电磁阀:(上海西马特)电磁阀,1:真空挡板阀GDQ-7/KF16KF,2:截止阀(氮气充甲酸、水、空气GDC-A3:压差式充气阀CYC-JQ

接地保护:结构件安全接地保护。

电源缺相、相序保护:配有相序保护器

环境温度:-5-40

相对湿度:≤85%RH

电源:AC380V±10%50Hz



苏公网安备 32058302001659号