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混气系统3路浮子 [产品打印页面]

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 混气系统3路浮子
产品型号:
产品展商: 上海升利
产品文档: 无相关文档

简单介绍

混气系统3路浮子用于对气体的质量流量进行精密测量和控制,结合我公司的管式炉,可作用CVD系统和退火炉去研究气体环境影响材料。在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。


混气系统3路浮子  的详细介绍


技术参数

名称

混气系统3路浮子

浮子流量计

三种不同量程的浮子流量计,控制精度4%

·A:10 - 100mL/min

·B:16 - 160mL/min

·C:25 - 250mL/min

机械压力表(混气罐)

·-0.1-0.15 Mpa

接头和气管

·在混气系统右侧安装三个气体进口

·两通道气体流入气体混合罐,另一个通道气体不通过气体混合管

·两个出口(可连接科晶管式炉)安装在混气系统的左侧(一混合气体和一路单独的气体

·12长1/4”直径的聚四氟及快插接头

真空针阀

·采用ss304不锈钢

·安装在混气系统的右侧

安装带刹车的转向轮

外形尺寸:600 mm L x 600 mm W x 650 mm H




可选

CVD或者PECVD 液相气体发生器

净重

75 Kg

质保期

一年保修,终身技术支持。


特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


苏公网安备 32058302001659号